Lamtech平面度測量儀廣泛用于測量導軌的直線性、精密平板的平面度、基面之間的垂直度和平行度、精密軸系的晃動誤差等；同時還可以來測量各種棱鏡的角度差和平鏡的平行差以及測量檢驗各種棱鏡、平鏡與裝配基準面之間的角度誤差。該儀器主要用于小角度的精密測量，如多面棱體的檢定。也可測量高精度導軌等精密零件的直線性、平行性、垂直性及相對位置。
Lamtech平面度測量儀的用法是平晶干涉法，用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值，但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規(guī)的工作面，光學透鏡。激光干涉儀現因其體積小，重量輕、無需外接電源的特點被廣泛地應用在光學加工企業(yè)，光學檢測機構以及其他要進行光學表面檢測的場合。在機械行業(yè)和儀表制造中,用于測量相對于水平位置的傾斜角、機床類設備導軌的平面度和直線度、設備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準器的固定方式又可分為：可調式水平儀和不可調式水平儀。
Lamtech平面度測量儀打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面，實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點調整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然后用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。
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